X荧光元素分析仪的干扰因素主要有三方面 X荧光元素分析仪是一种比较新型的可以对多元素进行快速同时测定的仪器。在X射线激发下，被测元素原子的内层电子发生能级跃迁而发出次级X射线（X-荧光）。
X射线是一种波长较短的电磁辐射，通常是指能量范围在0.1~100keV的光子。X射线与物质的相互作用主要有荧光、吸收和散射三种。
X荧光元素分析仪的原理基于原子受到X射线的作用，其内层电子被激发，形成空穴，原子处于不稳定的激发态。为了回到稳态，原子的外层电子会跃迁回内层，多余的能量以荧光形式释放出来，被侦测器检测到，通过此来做分析。通常，可以将X荧光元素分析仪可分为波长色散性和能量色散性。X荧光元素分析仪在日常的分析工作中，XRF这种分析方法经常会出现共元素干扰。这种共元素干扰的问题主要起源于X荧光射线侦测器对于X荧光射线的分辨率的限制所致，只要是XRF都会遭遇到相同的问题。共元素干扰主要分为三类：两相近共元素干扰、逃离波峰、加乘波峰。
1、两相近共元素干扰
由于两元素在能谱图上的位置相近，以至于侦测器无法分别出两者之间的差距。如铅(La10.55Kev)、砷(Ka10.54Kev)。
2、逃离波峰
由于某元素的浓度异常高，此时发出大量X荧光射线，而侦测器无法及时处理，将在此元素的能谱位置前一个硅Ka的能谱距离多出一根小波峰而造成误判，但情形极少出现。如锡(Ka25.27Kev)-硅(Ka1.74Kev)=23.53Kev≈镉(Ka23.17Kev)。
3、加乘波峰
由于某元素的浓度异常高，此时发出大量X荧光射线，而侦测器无法及时处理，将在能谱两倍的位置上出现一根波峰。如大量的铁(Ka6.4Kev)，会在能谱12.8Kev处出一根小波峰。造成误判。但此种情形极为少见。
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